有源矩陣薄膜晶體管（TFT）顯示屏在二十世紀九十年代開始民用以來，它已成為現(xiàn)代生活不可或缺的組成部分，其應用遠不限于電視機和智能手機，它還存在于我們?nèi)粘Ｉ钪械闹饕ㄐ藕托畔⒐ぞ撸菏直恚纱┐髟O備）、電器、廣告、標牌、汽車等。本文主要討論顯示制造工藝塊所需要的特種氣體，并對各種氣體供應模式進行綜述。

TFT顯示屏制造與半導體器件制造方面有很多相似之處，比如：這兩種制造過程中都需要使用大量氣體、比如工藝步驟中的沉積、刻蝕、清潔和摻雜，還有其他步驟使用的氣體類型也都比較相似。

技術

顯示設備分層

目前市場上有兩種顯示屏：有源矩陣液晶顯示屏（AMLCD）和AMOLED。AMLCD和AMOLED的顯示屏基本部件相同。顯示設備有4層（圖1）：濾色層、薄膜晶體管開關層（氣體主要用于這一層）、用于控制顏色選擇的快門層、RGB（紅綠藍）顏色過濾器。